1700C CVD 3-Zonen-Vakuumrohr-Ofen mit MFC-Gasmischer und Molekularpumpen-Einheit

Produktübersicht

PT D80/1500/17/3 ist ein Hochtemperatur, dreizone CVD Hochvakuum-Rohr-Ofen. OD80mm Aluminiumoxid-Rohr, Heizlänge 1500mm. Ausgestattet mit einer molekularen Pumpe mit Vakuum bis zu 10-5torr,3 Kanäle MFC präzise gesteuerte Gasmischung.304SS-Wasserkühlflansche mit Nadelventilen und Messgerät, mehrfache Luftein- und -ausgänge für verschiedene Gase.Es übernimmt ein auf Mikroprozessoren basierendes Selbst-Tuning-Yudian-PID-Temperaturregelungssystem mit einer Temperaturregelungsgenauigkeit von +/- °CDer 3-Zonen-Hochvakuumrohrofen wird hauptsächlich für Vakuum- und Atmosphärenschutz-Sinterung eingesetzt.Vakuum-Dünnfilmbeschichtung, Herz-Kreislauf-Krankheiten-Experimente etc.

Hauptmerkmale

• Tmax 1700°C
• 3 Heizzone Hochvakuum, CVD-Rohröfen
• Doppelstahlkonstruktion, minimale Wärmeverluste
• Molekulare Pumpeinheit, maximale Vakuumstufe bis 10-5 torr
• 3-Kanal-MFC-gesteuerter Gasmischer
• Faserisolierte Kammer mit MoSi2-Heizungselementen für maximale Temperaturstabilität und Gleichmäßigkeit
• Wasserkühlflansche mit Versiegelung
• Digitale PID-Steuerung mit 30 programmierbaren Segmenten mit einer Genauigkeit von +/- 1 °C
• Thermoelement des Typs B
• ISO, CE

Sicherheitsmaßnahmen

• Ein integriertes Ampermeter und zwei Voltmeter zur einfachen Überwachung und Fehlerbehebung.
• Der Überhitzschutz schaltet den Ofen aus, wenn die Temperatur außerhalb des zulässigen Bereichs liegt (siehe Steuerungshandbuch) oder wenn das Thermoelement defekt ist oder nicht funktioniert.
• Der Stromausfallschutz setzt den Ofenbetrieb unmittelbar nach dem Ausfallpunkt wieder ein, wenn der Strom wiederhergestellt wird.
• Mikroprozessorbasierte PID-Self-Tuning-Steuerung bietet einen optimalen thermischen Prozess mit minimalem Überschuss

Einzelheiten zum Produkt

1700°C CVD 3-Zonen-Vakuumrohrofen mit MFC-Gasmischer und Wasserkühlgerät

• PT D80/1500/17 besteht hauptsächlich aus sieben Teilen: Ofenkörper, Ofenrohr, Flanschverschlusszubehör, Gasversorgungssystem, Wasserkühlsystem,Vakuumpumpsystem und Temperaturregelungssystem
• Die Außenhülle des Ofenstahls wird mit Beimischung und Phosphatung, Umweltpulverbeschichtung an der Oberfläche, Korrosions- und Oxidationsbeständigkeit, eingebauter Kühlventilator,Oberflächentemperatur Rt+45°C
• Ausgezeichnetes Erscheinungsbild, ISO- und CE-Konformität

Kammerprofil für 1700°C CVD 3-Zonen Hochvakuumrohröfen

• Hohe Aluminium-Keramik-Isolation, CNC-Gravur, Kammerwände fest gekoppelt, U-Typ MoSi2-Heizung, Temperaturbeständigkeit bis zu 1800 °C
• Erhitzungslänge 600 mm, geeignet für Aluminiumröhrchen mit einem Durchmesser von 60 mm.Der kritische Teil der Heizzone im Inneren des Ofenrohrs ist mit dem Keramikrohrstecker ausgestattet, die effektiv verhindern kann, dass Wärme entweicht und Wärmeverluste reduziert
• Thermoelement des Typs B

Wasserkühlflansche, 1/4 "Pagoda Gasdüse, molekulare Vakuumpumpeinheit

• Ausgestattet mit SS304-Wasserkühlflanschen, versiegelt mit hochtemperaturbeständigen Fluorgummi-Siegelringen
• Der Luft-Eingang und Ausgang nimmt G1/4-Zoll Pagodenluftdüse, die mit einem PTFE-Rohr mit einem Außendurchmesser von 8 mm verbunden werden kann
• Verknüpfte molekulare Pumpen-Einheit mit KF25, stellen Sie sicher, dass das Vakuumniveau bis zu 10 *-5mbar erreichen

Wärmeprogramme für 1700°C CVD HIGH TEMP 3 ZONEN Rohrofen

• Programmierbare 30 Segmente, Heizgeschwindigkeit 1-10 °C/min, frei einstellbar
• Gute Wärmedämmung, natürliche Kühlung, sanfte Abkühlung
• 7 "Touchscreen-Panel ist optional, Heizprogramme können zeitnah angezeigt und heruntergeladen werden

Ttechnische Spezifikationen

Anwendungsbemerkungen

• Der Druck des Verarbeitungsrohrs sollte 0,02 MPa niedriger sein
• Die Gasquelle sollte das Druckminderventil ausstatten
• Vor dem Füllen von Reduktionsgasen wie H2, sollte die Luft aus dem Rohr pumpen
• Wenn Gase aus dem Gas-Eingang in die Röhre gefüllt werden, sollte sichergestellt werden, dass das Gas-Ausgangsklappe geöffnet

Vergleich der Größe