1100C Quarzrohr-Ofen mit Sublimator aus festen Vorläufern für CVD 2D Schichten von TMDs

Produktübersicht für Rohröfen mit Oxidationsdiffusion

Der PTC D110/440/12NG ist ein kompakter 1100°C-CVD-Rohröfen mit einem Sublimationsanhänger.Die vollständig vierkantigen Gas-Einläufe sind auf der Sublimation aufgebaut, wodurch die Zufuhr verschiedener Gase den Quelldampf in die Hauptheizung zur weiteren Zersetzung und Ablagerung transportieren kann. Die an der rechten Flansche befestigte Musterhalterverbindung ist für das einfache Be- und Entladen von Proben rutschbar.

Hauptmerkmale

• Kompakte CVD-Ofenanlage mit:
• 4.33" O.D x 4.05" I.D x 29.13" Quarzrohr Länge (OD 110 x ID 103 x L 740, mm)
• 1100oC Max. Betriebstemperatur mit einer Genauigkeit von +/- 1oC
• Der Wasserkühlflansch auf der rechten Seite ist rutschbar, sodass die Proben leicht geladen werden
• Der Wasserkühlflansch auf der linken Seite zwischen Heizung und Ofen wird für die Vorheizung und Dichtung des Gases verwendet
• Vier-Kanal-Gas-Eingang (1/8 "Dia-Rohr und Rohr-Fitting) sind eingebaut auf der linken Seite Flansche
• Ein kleiner Heizkörper ist an der linken Seite des Ofenflansches befestigt, um Gas, Flüssigkeit oder eine feste Chemikalie vorzuheizen, die dann in den CVD-Ofen geliefert wird:
• Bitte klicken Sie auf das Bild links für weitere Details:
• 1.2'O.D x 6'L SS-Rohr als Heizkammer
• Vakuumversiegelt 1" ID kleine Quarzröhre im Inneren der Heizung (Bild 2)
• Maximale Betriebstemperatur von 400 °C (auf Anfrage ein Heizgerät von 1000 °C erhältlich)
• Der Flansch auf der linken Seite ist für die Gasdichtung und Eingang

Rampen, Wohn- und Kühlkurven für Laboröfen der Baureihe 1200

Sicherheitsmaßnahmen

• Ein integriertes Ampermeter und zwei Voltmeter zur einfachen Überwachung und Fehlerbehebung.
• Überhitzschutz schaltet den Rohröfen aus, wenn die Temperatur außerhalb des zulässigen Bereichs liegt (siehe Bedienungsanleitung) oder wenn das Thermoelement defekt ist oder nicht funktioniert
• Stromausfallschutz setzt den Ofenbetrieb unmittelbar nach dem Ausfallpunkt wieder auf, wenn der Strom wiederhergestellt wird
• Mikroprozessorbasierte PID-Self-Tuning-Steuerung bietet einen optimalen thermischen Prozess mit minimalem Überschuss

Produktgalerie

Vorläufer-Sublimator für CVD-Rohröfen

Technische Spezifikation

Anwendungsbemerkungen

• Füllen Sie keine explosionsfähigen Gase wie Wasserstoff oder Methan ohne die erforderlichen Sicherheitskontrollen und -aufsicht in das Ofenrohr.
• Laborrohröfen mit Quarzrohr sind für den Einsatz unter Vakuum und niedrigem Druck < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa ausgelegt
• Kleine Risse können bei längerem Gebrauch auf der Oberfläche der feuerfesten Keramik auftreten, was normal ist und mit einer Aluminiumbeschichtung repariert werden kann.

Vergleich der Größe