1700 °C Hochtemperatur 3 Zonen Labor CVD Vakuumrohrof mit OD60mm Aluminienrohr

Produktübersicht

Der PTC D60/600/17/3 ist ein CE-zertifizierter Rohröfen mit 60 mm OD 3-Zonen-Fläche mit vollständigem Vakuumdichtungsflansch.Jede Heizzone ist 12 "lang und wird von drei Präzision 30 Segmente der digitalen Temperaturregler unabhängig voneinander gesteuertEine Zone (Zentralzone) wird mit Super-1800 MoSi2-Elementen bis zu 1700°C und zwei weitere Zonen mit SiC-Elementen bis zu 1400°C erhitzt.Der Rohröfen kann die verschiedenen thermischen Gradienten erzeugen, indem drei Zonen TemperaturEs ist ein ausgezeichneter Ofen, um funktionelle Materialien unter thermischem Gradient vorzubereiten, und kann auch für das Wachstum von epitaxialen Filmen durch CVD verwendet werden.

Hauptmerkmale

• Betriebstemperaturbereich 1200°C-1700°C
• Doppelstahlkonstruktion, minimale Wärmeverluste; drei separat gesteuerte Heizzonen
• 990,6% Aluminiumrohr mit SS304-Schnellöffnungs-Wasserkühldichtungsflanschen
• Leistungsstarke MoSi2-Heizungselemente sorgen für eine gleichmäßige Temperatur
• Faserisolierte Kammer für maximale Temperaturstabilität und Gleichmäßigkeit
• Digitale PID-Steuerung mit 30 programmierbaren Segmenten
• Einzelne Anlagen für die Gasversorgung, Gasmischung mit Ar, N2 CO, H2 usw.
• Langlebigkeitsthermokopf Typ B
• CE-Zertifiziert

Sicherheitsmaßnahmen

• Ein integriertes Ampermeter und zwei Voltmeter zur einfachen Überwachung und Fehlerbehebung.
• Der Überhitzschutz schaltet den Ofen aus, wenn die Temperatur außerhalb des zulässigen Bereichs liegt (siehe Steuerungshandbuch) oder wenn das Thermoelement defekt ist oder nicht funktioniert.
• Der Stromausfallschutz setzt den Ofenbetrieb unmittelbar nach dem Ausfallpunkt wieder ein, wenn der Strom wiederhergestellt wird.
• Mikroprozessorbasierte PID-Self-Tuning-Steuerung bietet einen optimalen thermischen Prozess mit minimalem Überschuss

Einzelheiten zum Produkt

1700°C Dreizonen-Hochtemperatur-CVD-Vakuumrohröfen

• Der 1700°C hochtemperature CVD-Rohröfen besteht hauptsächlich aus fünf Teilen: Ofenkörper, Ofenrohr, Flanschverschlusszubehör, Gasversorgungssystem,Vakuumsystem und Temperaturregelungssystem
• Die Außenhülle des Ofenstahls wird mit Beimischung und Phosphatung, Umweltpulverbeschichtung an der Oberfläche, Korrosions- und Oxidationsbeständigkeit, eingebauter Kühlventilator,Oberflächentemperatur Rt+45°C
• ISO- und CE-Konformität

Profil der Kammer für 1700°C CVD-Hochtemperatur 3-Zonen-Rohröfen

• Hohe Aluminium-Keramik-Isolation, CNC-Gravur, Kammerwände fest gekoppelt, U-Typ MoSi2-Heizung, Temperaturbeständigkeit bis zu 1800 °C
• Erhitzungslänge 600 mm, geeignet für Aluminiumröhrchen mit einem Durchmesser von 60 mm.Der kritische Teil der Heizzone im Inneren des Ofenrohrs ist mit dem Keramikrohrstecker ausgestattet, wodurch wirksam verhindert werden kann, dass Wärme entweicht und Wärmeverluste verringert werden.
• Thermoelement des Typs B

Schnellöffnungsflansche, Ofenrohrstützen, 1/4 "Pagoda Gasdüse, Vakuumpumpen-Einheit

• Ausgerüstet mit SS304-Schnellöffnungs-Wasserkühlflansch-Zubehör für das schnelle Be- und Entladen von Materialien, versiegelt mit hochtemperaturbeständigen Fluorgummi-Siegelringen
• Die Luftzufuhr- und Ausgangsanlage verwendet eine G1/4-Zoll-Pagoda-Luftdüse, die an ein PTFE-Rohr mit einem Außendurchmesser von 8 mm angeschlossen werden kann.
• Verknüpfte molekulare Pumpen-Einheit mit KF25, stellen Sie sicher, dass das Vakuumniveau bis zu 10 *-5mbar erreichen

Wärmeprogramme für 1700°C CVD HIGH TEMP 3 ZONEN Rohrofen

• Programmierbare 30 Segmente, Heizgeschwindigkeit 1-10 °C/min, frei einstellbar
• Gute Wärmedämmung, natürliche Kühlung, sanfte Abkühlung
• 7 "Touchscreen-Panel ist optional, Heizprogramme können zeitnah angezeigt und heruntergeladen werden

Ttechnische Spezifikationen

Anwendungsbemerkungen

• Der Druck des Verarbeitungsrohrs sollte 0,02 MPa niedriger sein
• Die Gasquelle sollte das Druckminderventil ausstatten
• Vor dem Füllen von Reduktionsgasen wie H2, sollte die Luft aus dem Rohr pumpen
• Wenn Gase aus dem Gas-Eingang in die Röhre gefüllt werden, sollte sichergestellt werden, dass das Gas-Ausgangsklappe geöffnet

Vergleich der Größe