1200C Mehrzonen-CVD-Rohröfen OD120mm 3 Zonen mit Temperaturgleichheit +/- 5C

1200C Mehrzonen-CVD-Rohröfen (OD120mm, 3 Zonen) mit Temperaturgleichheit +/- 5

Produktübersicht für 1700CRotationsrohröfen

Ein Mehrzonen-CVD-Rohröfen-Arbeitsplatz besteht aus einem Rohröfen mit mehreren Heizzonen, einer Präzisionsmassenflussgassteuerstation,mit einer Leistung von mehr als 100 W und einer Leistung von mehr als 1000 WTmax 1200°C, die ultimative Vakuumrate beträgt bei molekularen Vakuumpumpen 10^-7 torr.Die Massenflussgassteuerstation mischt drei oder mehr Arten von Gas miteinander und leitet das gemischte Gas in ein Quarzrohr oder Metallrohr im Inneren des Ofen einDer Multi-Zone-Rohröfen ist für die Experimente wie CVD, Diffusion und andere Wärmebehandlungen unter Vakuum und Atmosphärenschutz zuständig.

Hauptmerkmale

• Tmax 1200°C
• Horizontale, geteilte, mehrzonenförmige CVD-Rohröfen
• Inkonel 600 als Verarbeitungsrohr
• Maximaler Vakuumpegel 10E-7 torr
• Drei-Kanal-Gasmassenflussgenauigkeitskontrolle
• Mehrfachbereitungsbereiche, die getrennt gesteuert werden, sorgen für einen verbesserten Temperaturgradienten
• Doppelflansche bieten eine bessere Dichtung und eine längere Lebensdauer der Rohre
• Thermoelemente des Typs N
• CE-Zertifiziert, Standard

Sicherheitsmaßnahmen

• Ein integriertes Ampermeter und zwei Voltmeter zur einfachen Überwachung und Fehlerbehebung.
• Der Überhitzungsschutz schaltet den CVD-Rohröfen aus, wenn die Temperatur außerhalb des zulässigen Bereichs liegt (siehe Steuerungshandbuch) oder wenn das Thermoelement defekt ist oder nicht funktioniert.
• Der Stromausfallschutz setzt den Ofenbetrieb unmittelbar nach dem Ausfallpunkt wieder ein, wenn der Strom wiederhergestellt wird.
• Mikroprozessorbasierte PID-Self-Tuning-Steuerung bietet einen optimalen thermischen Prozess mit minimalem Überschuss

Produktgalerie

Vordersicht für 1200C Drehrohröfen

Technische Spezifikation

Anwendungsbemerkungen

• Füllen Sie keine explosionsfähigen Gase wie Wasserstoff oder Methan ohne die erforderlichen Sicherheitskontrollen und -aufsicht in das CVD-Ofenrohr.
• Rohröfen mit Metallrohren sind für den Einsatz unter Vakuum und niedrigem Druck < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa ausgelegt.
• Kleine Risse können bei längerem Gebrauch auf der Oberfläche der feuerfesten Keramik auftreten, was normal ist und mit einer Aluminiumoxidbeschichtung repariert werden kann

Vergleich der Größe