Rohröfen mit Gasversorgungsanlage für die Wärmebehandlung von Dünnschichten

Produktübersicht für 1700C-Rohröfen

Dieses Modell besteht aus einem heisenden horizontalen Rohröfen und einem Gasversorgungssystem, das hauptsächlich Wärmebehandlungsexperimente für dünne Folien (Übergangsmetallnitrid- und HEA-Nitridfolien,verschiedene PVD-Hardbeschichtungen).

Hauptmerkmale

• Tmax 1700 °C
• Elektrisch beheizter, einzige Zone, hohe Temperatur, Vakuumrohrofen
• Doppelstahlkonstruktion, Nicht-Split-Ofenkammer zum Schutz vor minimalem Wärmeverlust
• Mehrfache Atmosphärenprozesse in einem einzigen Zyklus sind verfügbar
• Maximaler Vakuumstand erreicht 10E-3 torr mit molekularer Pumpe
• Faserisolierte Kammer mit leistungsstarken MoSi2-Heizelementen sorgen für eine gleichmäßige Temperatur sorgen für eine gleichmäßige Temperatur
• Shimaden PID Temperaturregler mit 30 programmierbaren Segmenten
• SS304 Vakuumwasserkühlverschlussflansche mit Ventil und Druckmessgerät
• Doppelflansche Unterstützung mit Enden Hitze Abdeckung bietet eine bessere Dichtung und sicheren Betrieb
• Langlebigkeitsthermokopf Typ B
• CE-Zertifiziert, Standard

Rampen, Wohn- und Kühlkurven für Rohröfen der Baureihe 1700

Sicherheitsmaßnahmen

• Ein integriertes Ampermeter und zwei Voltmeter zur einfachen Überwachung und Fehlerbehebung.
• Überhitzschutz schaltet den Rohröfen aus, wenn die Temperatur außerhalb des zulässigen Bereichs liegt (siehe Bedienungsanleitung) oder wenn das Thermoelement defekt ist oder nicht funktioniert
• Stromausfallschutz setzt den Ofenbetrieb unmittelbar nach dem Ausfallpunkt wieder auf, wenn der Strom wiederhergestellt wird
• Mikroprozessorbasierte PID-Self-Tuning-Steuerung bietet einen optimalen thermischen Prozess mit minimalem Überschuss

Produktgalerie

Frontansicht für Hochtemperatur-Rohröfen 1700 Grad C

Vorderseite1700 Grad CHochtemperaturrohröfen

Technische Spezifikation

Anwendungsbemerkungen

• Füllen Sie keine explosionsfähigen Gase wie Wasserstoff oder Methan ohne die erforderlichen Sicherheitskontrollen und -aufsicht in das Ofenrohr.
• 1700C-Rohröfen mit Aluminiumrohr sind für den Einsatz unter Vakuum und Niederdruck ausgelegt; 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa
• Um die Rissrate der Keramikrohre zu minimieren, ändern Sie bitte die Position (markieren Sie vier Punkte auf dem Rohr) jede Charge
• Kleine Risse können bei längerem Gebrauch auf der Oberfläche der feuerfesten Keramik auftreten.

Vergleich der Größe